鈦靶材通過高純度的鈦材料加工制成。有著光澤的銀白色外觀,其熔點為1660℃,沸點為3287℃,密度為4.5g/cm3。鈦靶材具有高純度、高密度、高強度和耐腐蝕等特點。高性能鈦濺射靶材,是實現電子信息制造業關鍵材料的自主研制和推動鈦工業向高端轉型升級的重要舉措。
鈦靶材特征
鈦靶材形狀:平面靶旋轉靶異型定制
鈦靶材純度:2N7,4N,4N5,5N
鈦靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供鈦絲、鈦粒、鈦片、鈦粉等
鈦靶材制備工藝
選取鈦原料(4N或者5N),采用真空熔煉的方法將鈦原料熔融,并將熔湯澆鑄,澆鑄后的熔湯冷卻形成鑄錠坯料;
將鑄錠坯料進行第一熱處理,第一熱處理的溫度為450~650℃,保溫時間0.5~2.5h,然后將保溫熱處理后的鑄錠坯料進行熱軋延或者空氣錘鍛打,形成第一鈦坯;
對第一鈦坯進行第二熱處理,第二熱處理的溫度為350~550℃,保溫時間為1~3h,然后將保溫熱處理后的第一鈦坯進行熱軋延或者空氣錘鍛打,形成第二鈦坯;
對第二鈦坯冷卻到室溫后,在室溫的環境下對第二鈦坯進行冷軋延,形成冷軋坯;
將冷軋所形成的冷軋坯做退火熱處理,退火熱處理溫度為300~700℃,時間為1~5h,得到晶粒細小且均勻的鈦靶坯,之后通過機床加工即得鈦靶材。
該制備方法通過多次熱處理,使得鈦坯中的元素產生固態擴散,來減輕化學成分分布的不均勻性,減少靶材坯料的分層現象,縮小晶粒尺寸;同時可消除殘余應力,穩定尺寸,減低硬度和脆性,增加其可塑性,減少變形與裂紋傾向。下圖是鈦濺射靶材典型的顯微金相檢測圖片,平均粒徑<100um。
鈦靶材應用
鈦靶材是一種重要的材料,主要用于制造半導體、光電子和磁性材料等高科技領域的材料。在半導體工業中,鈦靶材可用于制造電子元件的制造,例如光電二極管、光電品體管、光電接收器和發射器等。在光電子領域,鈦靶材可用于制造光電子器件,例如LED和太陽能電池等。在磁性材料領域,鈦靶材可用于制造硬盤和磁卡等。
除了以上應用,鈦靶材還廣泛用于高溫合金、導電材料、化學催化劑和醫療設備等領域,這些領域不僅需要高強度、耐腐蝕的材料,還需要穩定的化學性能和生物相容性。鈦靶材正好滿足這些要求,成為這些領域的重要材料之一。
鈦的其它應用
鈦在軍工方面的應用
鈦在軍事工業方面有著十分廣闊的用途。核動力潛艇、水翼艇、迫擊炮身管、反坦克導彈、導彈發射器、坦克防護板、防彈背心等大量用鈦。
鈦在航天航空方面的應用
鈦廣泛用于航空工業,民用飛機用鈦量約占構架重量的20~25%;此外戰略火箭發動機、宇宙飛船(如神舟五號、神舟六號)、人造衛星天線等也大量用鈦。
鈦在海洋產業方面的應用
在海水中,鈦具有其他金屬材料無法比擬的耐蝕性能,特別是耐受海水的高速沖刷腐蝕。
在汽車工業方面的應用
鈦的輕質、高強度等性能早已被汽車制造商所關注,鈦在賽車上的應用已有許多年的歷史,目前賽車幾乎都使用了鈦材。
在醫學中的應用
隨著醫療技術的提高,在人體內植入金屬是十分常見的外科手術,由于鈦金屬具有與人體組織排異反應弱,目前被廣泛于人工骨骼、人工關節、人造牙等人體植入物方面得到廣泛的應用。此外,鈦在制藥機械、醫療器械方面的應用也得到進一步的認識,未來需求不可低估。
在核工業方面的應用
除上述用途外,鈦是發展核工業不可缺少的重要材料,核反應堆使用的很多設備、管道和相關部件,除使用鋯、鉿外,還需要大量的鈦和鈦基合金材料。。
鈦靶材合金類型
除鈦靶材外,我們還可以提供鈦鋁合金、鈦鈮合金、銅鈦合金、鎢鈦合金、鎳鈦合金、釩鈦合金、鉬鈦合金等濺射靶材。

