在研究鈦陽極薄膜的相組成時確定，氧化薄膜普通是倫琴（X射線）非晶質薄膜，當形成這薄膜時具有低的電位擊穿電平^按照某些作者的意見，在一定電壓條件下形成薄膜過程中發現的陽極薄膜擊穿總是作隨著晶體的形成。 在陽極氧化薄膜表面的鈦具有很髙的耐氧化程度。在二氧化鈦（Ti02)的下面發現了低分子量鈦的氧化物,當提髙氧化物的形成電位時厚度增加，并旦薄膜中的低分子量的鈦氧化物部分減少。鈦的氧化物形成電位區內,在鈦表面發現了成分Ti50B到的鈦氧化物,這種范圍的鈦氧化物隨著陽極電位的增加而轉變成二氧化鈦Ti02(八面石）這樣以來，根據陽極電位增加的程度鈦的氧化薄膜成分發生變化，氧化程度從零轉變成很髙。