隨著北京推動高精尖產業發展的政策體系日趨完善, 科技創新的支撐引領作用得到了充分發揮，在集成電路、醫藥健康、信息技術等高精尖產業領域的創新成果不斷涌現，推動產業鏈向全球價值鏈高端躍升，為推動北京經濟高質量發展提供了科技供給。
由清華大學教授朱煜主持完成的“納米運動精度光刻機超精密雙工件臺技術與應用”項目獲一等獎。該成果突破了納米運動精度超精密光刻機雙工件臺系列關鍵技術，使我國成為世界上第2個掌握雙工件臺研制技術的國家，有力地支撐了國產高端光刻機研發及產品化，近3年實現直接經濟效益2.3億元。
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